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满足高洁净旋转运动
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Supermag®磁悬浮晶圆转台，为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计，使用先进的磁悬浮轴承与电机集成控制技术，打破了国外多年的技术垄断，且部分参数远超过国外技术水平。转子悬浮在空中旋转，无摩擦、无动密封、不产生颗粒，可应用于氧化、扩散和退火、快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)、ALD、CVD(DPN)、单片晶圆清洗、MOCVD、蚀刻、旋涂等高端芯片的制程工艺中。
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参数特征
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产品亮点
无机械摩擦、无需动密封、无需润滑油
磁悬浮支撑 中空转子 洁净可靠
磁悬浮和电机控制一体化集成
智能化的控制软件，支持远程调试，方便与PLC、PC等上层系统通讯，兼容Supermag所有电机型号
转速可调、控制精准
转速范围：20-2500 RPM
全自主研发、支持定制
国际专利，可按半导体工艺需求定制
旋转零点自动回位，高度可调
满足半导体严苛的工艺检测环境
满足多尺寸晶圆检测需求
适用于6/8/12寸晶圆
参数特征
参数特性：
产品Q&A视频：
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SCM磁悬浮晶圆转台_产品宣传单页
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