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高洁净 低剪切 高可靠
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Supermag®自主研发的磁悬浮泵，可用于高纯溶液，特殊介质的输送。转子悬浮在液体中工作，无机械摩擦、不产生颗粒、低剪切、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑，是半导体高端制程工艺升级过程中不可或缺的核心装备。
产品亮点
产品系列
参数特征
相关资料
产品亮点
无机械摩擦、无颗粒生成
转子悬浮在液体中工作，洁净温和，可靠耐用
高纯度、低析出、耐腐蚀
在流体输送中，无颗粒产生，保证介质洁净
智能控制
实时转速调整，保证稳定的流量和压头
支持正反转
转速范围可调1rpm~10000rpm
无需动密封
降低泄露风险
100%自有技术
完全自主研发，全国产化供应链
半导体泵产品系列
参数特征
流量曲线：
参数特性：
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