2024 | SUPERMAG——SEMICON台湾

SUPERMAG 即将亮相SEMICON 台湾

SEMICON 台湾 2024 将于9月4-6日在台北南港展览馆揭幕，苏磁科技将携磁悬浮系列产品首次亮相台湾地区最大的半导体盛会。

作为台北地区最大的半导体商业合作交流平台，SEMICON 台湾汇聚了全球顶尖半导体产业的生产厂商、专业人才和高端技术产品，在全球半导体产业极具影响力。

随着市场上半导体技术的日益小型化和复杂化，高端芯片的制程工艺流程越来越严苛，其中“关键工艺介质的超纯、安全输送”与“消除工艺设备的颗粒污染”是两个核心需求。苏磁旗下磁悬浮系列产品针对这两点提供了洁净、可靠的行业解决方案，助力半导体行业工艺装备革新。

部分展品抢先看

SUPERMAG

本次SEMICON 台湾，苏磁科技将携旗下磁悬浮系列产品亮相：磁悬浮晶圆转台、磁悬浮泵、磁悬浮涡轮分子泵。

SCM 磁悬浮晶圆转台 

满足高洁净旋转运动

苏磁科技自主研发的磁悬浮晶圆转台，为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计，使用先进的全磁悬浮轴承与电机集成控制技术。转子悬浮在空中旋转，无摩擦、无动密封、不产生颗粒。可应用于：氧化、扩散和退火、快速热处理（RTP）、快速退火（RTA）、单片晶圆清洗、MOCVD、刻蚀、旋涂等高端芯片的制程工艺中。

SCP系列磁悬浮泵

 高洁净 低剪切 高可靠

苏磁科技自主研发的磁悬浮泵，可用于高纯溶液的输送。转子悬浮在液体中工作，无机械摩擦、不产生颗粒、低剪切、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑，是高端半导体等生产过程中的最优解。

SCT 磁悬浮涡轮分子泵

满足所有高真空需求领域

苏磁科技自主研发的磁悬浮涡轮分子泵，通过先进的磁悬浮轴承技术将转子完全无接触悬浮，无机械摩擦、无润滑油、洁净度高、运转可靠振动低，可实现超高真空环境，被广泛应用于半导体和泛半导体领域，如晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、科研、光伏等。

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