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9月4日-6日,为期三天的SEMICON 台湾半导体展会完美落幕!展会以“Breaking Limits: Powering the AI Era. 赋能AI无极限”为主题,聚焦先进制程、化合物半导体、硅光子、智慧移动等半导体产业热门议题,汇聚了全球顶尖半导体产业的生产厂商、专业人才和高端技术产品,在全球半导体产业极具影响力。
SEMICON TAIWAN 2024 展馆: 台北南港展览馆
作为国内领先的磁悬浮核心技术解决方案提供商,苏磁科技携自主研发的磁悬浮全系列产品首次亮相SEMICON 台湾 2024。在三天的展期中频频受到各企业的广泛关注,与业界同行共探“芯”思路,助力“芯”智造!
苏磁科技展位
在“关键工艺介质的超纯、安全输送”与“消除工艺设备的颗粒污染”两个半导体的核心需求领域,苏磁科技展示了基于先进磁悬浮无轴承电机技术研发的磁悬浮晶圆转台、磁悬浮泵和磁悬浮涡轮分子泵,让高洁净、高可靠、高精度的工艺装备升级方案走进更多的半导体企业。
展品受到国内外观众的高度关注
高洁净、高可靠的磁悬浮技术
SCM磁悬浮晶圆转台
满足高洁净旋转运动
苏磁科技自主研发的磁悬浮晶圆转台,为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计,使用先进的全磁悬浮轴承与电机集成控制技术。转子悬浮在空中旋转,无摩擦、无动密封、不产生颗粒。可应用于:氧化、扩散和退火、快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、单片晶圆清洗、MOCVD、刻蚀、旋涂等高端芯片的制程工艺中。
SCP系列磁悬浮泵
高洁净 低剪切 高可靠
苏磁科技自主研发的磁悬浮泵,可用于高纯溶液的输送。转子悬浮在液体中工作,无机械摩擦、不产生颗粒、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑,是高端半导体等生产过程中的最优解。可应用于:匀胶显影、湿法刻蚀、湿法清洗、电镀、CMP、CDS/SDS等。
SCT磁悬浮涡轮分子泵
满足所有高真空领域需求
苏磁科技自主研发的磁悬浮涡轮分子泵,通过先进的磁悬浮轴承技术将转子完全无接触悬浮,无机械摩擦、无润滑油、洁净度高、运转可靠振动低,可实现超高真空环境,被广泛应用于半导体和泛半导体领域,如晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、科研、光伏等。
Supermag关于苏磁科技
苏州苏磁智能科技有限公司Supermag®拥有先进的磁悬浮无轴承电机技术和产品,为半导体、生物制药、化工、能源等领域提供高洁净、低剪切的磁悬浮电机、磁悬浮流体输送和搅拌、及磁悬浮高真空解决方案。
苏磁科技磁悬浮产品在半导体领域,满足高端芯片制造的苛刻工艺要求;在生物制药领域,保障了药液在输送和搅拌中免受破坏;在化工领域,完全避免了动密封引起的泄漏风险;在高端能源装备领域,具有明显的节能效果和极高的可靠性。
苏磁科技拥有完备的质量体系,获ISO 9001质量管理体系认证,其产品已获CE、SEMI S2等国际认证,并进入多家百亿级客户供应链。公司始终为客户提供及时有效的售后服务和技术支持。
苏磁科技磁悬浮技术目前已申请专利116项,含PCT12项,发明专利52项。核心团队成员拥有美国、德国、日本等优秀从业背景,曾成功研发全球唯二的磁悬浮人工心脏。未来,公司将持续聚焦于磁悬浮技术,为客户提供洁净、可靠的产品和解决方案。
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