6月26日-28日，为期三天的SEMI-e第六届深圳国际半导体展完美落幕！全面展示了半导体行业的新技术、新产品、新亮点、新趋势。众多知名企业聚集于此，共探半导体行业未来发展趋势。

苏磁科技携自主研发的磁悬浮全系列产品亮相深圳国际展会中心。

苏磁科技展位

“新”进程 , 也是“芯”未来

作为国内领先的磁悬浮核心技术解决方案供应商，苏磁科技在本次展会上的表现尤为抢眼，吸引了众多业界同行和媒体的关注。

在为期三天的展期中，苏磁为现场企业观众带来了旗下SCM磁悬浮晶圆转台、SCP系列磁悬浮泵、SCT磁悬浮涡轮分子泵在半导体领域中创新性的应用演示。

尤其针对半导体产业中“关键工艺介质的超纯、安全输送”与“消除工艺设备的颗粒污染”两个核心需求，苏磁科技提供了高洁净、高可靠的磁悬浮转台电机、磁悬浮流体输送和磁悬浮高真空解决方案，助力高端芯片工艺装备革新！

展示方案吸引业界同行探讨

创新引领 国产化替代

苏磁科技磁悬浮系列产品一览

SCM 磁悬浮晶圆转台

苏磁科技自主研发的磁悬浮晶圆转台，为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计，使用先进的全磁悬浮轴承与电机集成控制技术。转子悬浮在空中旋转，无摩擦、无动密封、不产生颗粒。可应用于：氧化、扩散和退火、快速热处理（RTP）、快速退火（RTA）、单片晶圆清洗、MOCVD、刻蚀、旋涂等高端芯片的制程工艺中。

SCP系列磁悬浮泵

苏磁科技自主研发的磁悬浮泵，可用于高纯溶液的输送。转子悬浮在液体中工作，无机械摩擦、不产生颗粒、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑，是高端半导体等生产过程中的最优解。可应用于：匀胶显影、湿法刻蚀、湿法清洗、电镀、CMP、CDS/SDS等

SCT磁悬浮涡轮分子泵

苏磁科技自主研发的磁悬浮涡轮分子泵，通过先进的磁悬浮轴承技术将转子完全无接触悬浮，无机械摩擦、无润滑油、洁净度高、运转可靠振动低，可实现超高真空环境，被广泛应用于半导体和泛半导体领域，如晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、科研、光伏等。

磁悬浮技术赋能半导体洁净工艺

此外，本届SEMI-e结合半导体产业特点和发展趋势，同期举办了【第六届深圳半导体产业技术高峰会】。

苏磁科技创始人尹成科博士受邀出席该论坛，并发表主题演讲，与业界同仁探讨磁悬浮技术如何为半导体洁净工艺保驾护航以及磁悬浮技术市场前景，为行业发展注入新的活力与思路。

苏磁创始人尹成科博士演讲现场

同时，苏磁科技以卓越的技术实力和前瞻的市场视野，赢得业界认可，在【SEMI-e“芯”科技风云榜】中荣获“最佳新锐企业奖”。

颁奖现场

展会虽已落幕，但苏磁科技的创新之路永不停歇。在未来的日子里，苏磁科技将继续引领磁悬浮技术的发展，为全球半导体行业带来更多的惊喜和突破。

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