6月26日-28日，为期三天的SEMI-e第六届深圳国际半导体展完美落幕！全面展示了半导体行业的新技术、新产品、新亮点、新趋势。众多知名企业聚集于此，共探半导体行业未来发展趋势。

苏磁科技携自主研发的磁悬浮全系列产品亮相深圳国际展会中心。

苏磁科技展位

“新”进程 , 也是“芯”未来

作为国内领先的磁悬浮核心技术解决方案供应商，苏磁科技在本次展会上的表现尤为抢眼，吸引了众多业界同行和媒体的关注。

在为期三天的展期中，苏磁为现场企业观众带来了旗下SCM磁悬浮晶圆转台、SCP系列磁悬浮泵、SCT磁悬浮涡轮分子泵在半导体领域中创新性的应用演示。

尤其针对半导体产业中“关键工艺介质的超纯、安全输送”与“消除工艺设备的颗粒污染”两个核心需求，苏磁科技提供了高洁净、高可靠的磁悬浮转台电机、磁悬浮流体输送和磁悬浮高真空解决方案，助力高端芯片工艺装备革新！

展示方案吸引业界同行探讨

创新引领 国产化替代

苏磁科技磁悬浮系列产品一览

SCM 磁悬浮晶圆转台

苏磁科技自主研发的磁悬浮晶圆转台，为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计，使用先进的全磁悬浮轴承与电机集成控制技术。转子悬浮在空中旋转，无摩擦、无动密封、不产生颗粒。可应用于：氧化、扩散和退火、快速热处理（RTP）、快速退火（RTA）、单片晶圆清洗、MOCVD、刻蚀、旋涂等高端芯片的制程工艺中。

SCP系列磁悬浮泵

苏磁科技自主研发的磁悬浮泵，可用于高纯溶液的输送。转子悬浮在液体中工作，无机械摩擦、不产生颗粒、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑，是高端半导体等生产过程中的最优解。可应用于：匀胶显影、湿法刻蚀、湿法清洗、电镀、CMP、CDS/SDS等

SCT磁悬浮涡轮分子泵

苏磁科技自主研发的磁悬浮涡轮分子泵，通过先进的磁悬浮轴承技术将转子完全无接触悬浮，无机械摩擦、无润滑油、洁净度高、运转可靠振动低，可实现超高真空环境，被广泛应用于半导体和泛半导体领域，如晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、科研、光伏等。

磁悬浮技术赋能半导体洁净工艺

此外，本届SEMI-e结合半导体产业特点和发展趋势，同期举办了【第六届深圳半导体产业技术高峰会】。

苏磁科技创始人尹成科博士受邀出席该论坛，并发表主题演讲，与业界同仁探讨磁悬浮技术如何为半导体洁净工艺保驾护航以及磁悬浮技术市场前景，为行业发展注入新的活力与思路。

苏磁创始人尹成科博士演讲现场

同时，苏磁科技以卓越的技术实力和前瞻的市场视野，赢得业界认可，在【SEMI-e“芯”科技风云榜】中荣获“最佳新锐企业奖”。

颁奖现场

展会虽已落幕，但苏磁科技的创新之路永不停歇。在未来的日子里，苏磁科技将继续引领磁悬浮技术的发展，为全球半导体行业带来更多的惊喜和突破。

关于苏磁科技

苏州苏磁智能科技有限公司Supermag®拥有先进的磁悬浮无轴承电机技术和产品，为半导体、生物制药、化工、能源等领域提供高洁净、低剪切的磁悬浮电机、磁悬浮流体输送和搅拌、及磁悬浮高真空解决方案。

苏磁科技磁悬浮产品在半导体领域，满足高端芯片制造的苛刻工艺要求；在生物制药领域，保障了药液在输送和搅拌中免受破坏；在化工领域，完全避免了动密封引起的泄漏风险；在高端能源装备领域，具有明显的节能效果和极高的可靠性。

苏磁科技拥有完备的质量体系，获ISO 9001质量管理体系认证，其产品已获CE、SEMI S2等国际认证，并进入多家百亿级客户供应链。公司始终为客户提供及时有效的售后服务和技术支持。

苏磁科技磁悬浮技术目前已申请专利 116项，含PCT12项，发明专利52项。核心团队成员拥有美国、德国、日本等优秀从业背景，曾成功研发全球唯二的磁悬浮人工心脏。未来，公司将持续聚焦于磁悬浮技术，为客户提供洁净、可靠的产品和解决方案。

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