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9月25日-27日,为期三天的第12届中国电子专用设备工业协会半导体设备年会(CSEAC 2024)圆满落幕。作为设备领域的专业会议,以“设备担重任,创芯闯征程”为主题的CSEAC正当其时,助力半导体企业市场拓展与产品推广,促进技术交流、经贸合作,为“中国芯”进程发展注入活力和动力。
苏磁科技携自主研发的磁悬浮全系列产品首次亮相无锡太湖国际博览中心。
苏磁科技展位
作为国内领先的磁悬浮核心技术解决方案提供商,在为期三天的展期中,苏磁科技受到了各企业的广泛关注,产品展现的优异功能及苏磁科技强大的自研能力受到了业界同行的由衷赞许。
其中磁悬浮涡轮分子泵作为苏磁科技最新研发的系列产品,凭借其“超真空、高洁净、高可靠”的技术特性,在展会现场引起了的热烈反响。该系列产品在半导体制造的关键环节,如晶圆加工、刻蚀和薄膜沉积等应用场景,展现出了其强大的性能,吸引了众多观众的目光。
在半导体领域,随着半导体技术日益小型化和复杂化,半导体湿制程应用的工艺要求也越来越严苛。苏磁科技结合磁悬浮技术特点和优势,克服了传统机械轴承产生的摩擦力、剪切力带来的技术难题,满足了高洁净、高可靠的工艺需求。
其中磁悬浮晶圆转台和磁悬浮泵集【无摩擦 无润滑油 高洁净 高可靠】于一身,理想地解决了半导体制造工艺中,运动机构对速度、密封、颗粒、洁净度的极高要求。如匀胶显影、RTP、湿法刻蚀、湿法清洗、电镀、CMP、CDS/SDS、分子束外延、光刻等制程中可以有很好的应用,助力我国半导体事业的发展。
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